Ionizační detektor sekundárních elektronů s elektrostatickým separátorem.

Informace o projektu

Níže popsaný detekční systém představuje zcela originální zařízení umožňující nové možnosti studia elektricky nevodivých, nebo vodu obsahujících vzorků v elektronových mikroskopech všech světových firem. Možnosti uplatnění tohoto systému lze spatřovat především v oblasti biologie či farmacie, ale také v oblasti polovodičového průmyslu a materiálového inženýrství. Lze předpokládat, že patent bude podán v členských zemích Evropské unie, Spojených státech amerických, popřípadě v Japonsku, kde sídlí dvě z nejvýznamnějších firem působících na světovém trhu s elektronovými mikroskopy. Základní filozofií nového Ionizačního detektoru sekundárních elektronů s elektrostatickým separátorem (ISEDS), jenž je předmětem předkládaného patentu PCT, je optimalizace fyzikálního principu detekce signálních elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů EREM, při dosažení maximálního zesílení signálu s vysokým podílem detekovaných sekundárních elektronů a minimálním příspěvkem zpětně odražených a jiných elektronů. Vhodně situované elektrostatické pole separátoru ISEDS, nacházející se zejména nad a kolem studovaného vzorku, efektivně filtruje vysokoenergiové BSE a dovoluje detekci nízkoenergiových SE s vysokou selektivitou. Tato schopnost je podpořena také originálním umístěním detekční elektrody ISEDS v rovině, nebo pod rovinou vzorku. Proměnná intenzita elektrostatického pole separátoru navíc za určitých podmínek umožňuje naprosto unikátní možnost detekce energiově separovaného signálu signálních elektronů. Kombinací ISEDS se scintilačně fotonásobičovou variantou detektoru zpětně odražených elektronů využívajícího scintilační monokrystal, vzniká univerzální a velmi účinný systém pro detekci pravých sekundárních a zpětně odražených elektronů vpodmínkách vysokého tlaku plynů komory vzorku elektronového mikroskopu.